Công đoạn làm sạch sản phẩm trước khi xuất hàng

• Quản lý các thông tin tại công đoạn Plasma
• Quản lý các material được sử dụng (tray, trolley, jig)
• Quản lý thông tin maintain của máy và material
• Quản lý thông tin parameter theo thời gian thực (N2,O2,Ar, Áp suất…)
• Kiểm soát dừng máy, chạy máy dựa vào các tiêu chuẩn của Parameter
• Quản lý thời gian sau khi làm sạch đến công đoạn tiếp theo
• Trace lại thông tin công đoạn Plasma
• Thống kê, hiển thị các thông tin OK/NG parameters…

• Step 1: Output(kW)
• Step 1: Time
• Step 1: Pressure(Base)
• Step 1: Pressure(Range)
• Step 1: Pressure(Target)
• Step 1: Gas flow(SLM N2)
• Step 2: Output(kW)
• Step 2: Time
• Step 2: Pressure(Base)
• Step 2: Pressure(Range)
• Step 2: Pressure(Target)
• Step 2: Ar
• Step 2: Gas flow(SLM O2)